集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱（第4報）

深紫外光照射によるラマン散乱スペクトルの変化の酸素濃度依存性

抄録

FIB加工によって単結晶ダイヤモンド表面に変質層が形成される．本研究では，顕微ラマン分光法を用いて，深紫外光照射による加工変質層の構造変化の過程に着目する．酸素雰囲気中において深紫外線照射することによって，加工変質層のエッチングが観測される．その酸素濃度依存がエッチング速度に影響を及ぼすことを明らかにした．発表では，深紫外光照射による加工変質層の構造変化のプロセスについて，およびエッチング後の表面構造について考察する.