フェムト秒偏光レーザビームを用いた異形穴加工のための数値シミュレーションによるレーザ・フルエンスの穴形状に与える影響の解析

抄録

フェムト秒パルス光の偏光ビームを用いて四角形等の異形開口をもつ穴加工が可能である．ここでは，数値シミュレーションによって四角形や三角形等の穴形状を得るためには適切なレーザ・フルエンスの範囲があることを示すとともに、この範囲を超えたフルエンス領域で所望の穴形状が得られない理由を明らかにする．