マイクロピッチねじ・ナットを用いた精密位置決めステージの研究

大久保 淳; 本田 智

doi:10.11522/pscjspe.2021A.0_381

2021年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021A.0_381

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2021年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27

マイクロピッチねじ・ナットを用いた精密位置決めステージの研究

*大久保淳, 本田智

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キーワード: マイクロねじ, マイクロナット, MEMS, 超極細ワイヤ, 位置決めステージ, クルトガエンジン

会議録・要旨集フリー

p. 381-382

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抄録

線径が20μｍの超極細ワイヤを用いてピッチ40μｍのマイクロねじとマイクロナットを製作し，これらを組み合わせたマイクロ送りステージを製作した．この送りステージは，マイクロねじの両端にクルトガ機構を取り付け，このクルトガ機構の回転子をスライダ・クランク装置で１回押し／戻しすると，マイクロナットが1μｍずつ位置決される構造になっている．本報告では，ステージの位置決め実験結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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