2021年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27
フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第9報）
入射光の振幅分布と位相分布による強度分布の制御
p. 616-617
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27
p. 616-617
フォトニックナノジェット（PNJ）はマイクロ球にレーザ光を照射すると発生し，数百ナノメートルのビーム径を維持したまま数マイクロメートルの距離を伝播するビームである．PNJを用いた加工において，PNJの強度分布を柔軟に制御するために入射光の振幅分布と位相分布を制御した．本報では，空間光変調器と干渉計を組み合わせた光学系によって，マイクロ球に入射する光の強度分布をフレキシブルに制御する手法について報告する．
