集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた曲面形状への薄膜対象物貼り付け手法の開発

抄録

本研究の目的は，集合梁構造を有する双極型静電吸着デバイスを用いた薄膜対象物の曲面貼り付け手法の開発である．具体的には，三次元造形法で作成した静電吸着デバイスを用いて曲面に対する薄膜貼り付け実験を行い，薄膜貼り付け時の梁先端の変形に着目することによって，曲面内の正確な位置への貼り付けが可能なデバイス軌道を提案し，その際に梁にかかる力を解析することによって薄膜対象が曲面に密着する条件を検証した．