ウォータガイドレーザ加工における加工位置のインプロセス計測（第二報）

光コムによる水中での変位計測実験と評価

抄録

数十マイクロメートル径のジェット水流中で、レーザを全反射させ加工を行うウォータガイドレーザ加工が実用化されている。このとき通常と異なり深さ方向の加工位置が焦点に限定されないため、この測定を可能にすることは重要である。そこで、通信帯光コムレーザの第二高調波を加工レーザ同様、水流中に導入して計測を行う手法を提案する。本発表では、水中での測定面の移動による変位の計測可能性について実験、評価する。