ファブリーペロー干渉計を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究

第一報　二平面間の距離測定

抄録

マイクロCMMのプローブ中心と実際の測定面間には距離があるため、その距離も含めたプローブ有効径の補正が必要となる。プローブ径の補正には高精度なゲージを用いる必要があり、マイクロCMMで用いる高精度なゲージが求められている。本研究では、マイクロCMMのプローブ径補正量計測用ゲージの寸法を保証する技術としてファブリーペロー干渉計を提案する。さらに実際に計測を行い、その実現可能性を検討した。