回転基準球を用いたCMMプローブ先端球の形状測定 第1報　内挿法の導入による形状復元の検証

伊東 聡; 山下 大輔; 神谷 和秀; 松本 公久

doi:10.11522/pscjspe.2021S.0_619

2021年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021S.0_619

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2021年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/22

回転基準球を用いたCMMプローブ先端球の形状測定

第1報　内挿法の導入による形状復元の検証

*伊東聡, 山下大輔, 神谷和秀, 松本公久

著者情報

キーワード: 回転基準球, プローブ, CMM, 形状誤差, 校正

会議録・要旨集フリー

p. 619-620

詳細

抄録

三次元測定器（CMM）で使用されるプローブ先端球の形状誤差は不確かさの主な要因の1つである．本研究ではCMM上でプローブ球形状を自律的に測定するために，Z軸周りに回転可能な基準球を用いた測定法を開発してきた．従来研究では基準球上の測定点数と同次数の表面形状は測定ができなかった．本報では内挿法を導入により従来方法では測定不可能な形状の計測を行い，シミュレーションと実験により測定精度を検証した．

責任著者(Corresponding author)

会議情報

J-STAGEへの登録はこちら（無料）