MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第9報）

10点同時計測MEMSデバイスの試作と評価

抄録

真直形状測定のための10点同時計測MEMSデバイスをシリコンバルクマイクロマシニング技術により製作した．前報より製作条件を変更することでプロセスの改善を図った．試作デバイスを評価するために各カンチレバー根元のピエゾ抵抗体を1辺とするブリッジ回路を組み，カンチレバー先端に変位を加えて出力電圧の変化を測定した．その結果，変位量に比例して出力電圧が減少し，デバイスが変位検出能を有していることを確認した．