レーザ測距を用いた広レンジ高精度狭隘部3D形状計測技術の開発

抄録

FMCW(Frequency Modulated Continuous Wave)法に基づく測距レーザを用いた狭隘部3D形状計測技術を開発した。本技術の特徴は、φ6～100mm超と幅広い内径を測定できることと、出射光の偏光を切り替えることで、狭隘部の側面と奥行きの測定方向切替えが可能なことである。本技術の測定精度評価で、±5µm以下の精度で測定可能であることを示した。