主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/03/16 - 2021/03/22
p. 662-663
将来のX線観測ミッションに向け、我々は独自の電鋳プロセスによる軽量・大面積かつサブ秒角の分解能を持つ大型ウォルターミラーの開発を進めている。本研究では、転写プロセスの高精度化を目的として、理論的アプローチを通じためっき条件の最適化を試みている。めっき膜形成過程のモデル化と有限要素解析を通じて、槽構造などのめっき条件を検討したので、本報ではその結果と、ミラー作製の現状について報告する。