ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究 状態フィードバックと最適レギュレータの適用

深田 茂生; 豊嶋 裕太

doi:10.11522/pscjspe.2022A.0_153

2022年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022A.0_153

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09

ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究

状態フィードバックと最適レギュレータの適用

*深田茂生, 豊嶋裕太

著者情報

キーワード: 位置決め, ボールねじ, ロータリエンコーダ, 状態フィードバック, 最適レギュレータ

会議録・要旨集フリー

p. 153-154

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抄録

分解能70pmのリニアエンコーダとボールねじおよびエアスライドを用いた位置決め機構のサブナノメートルレベルにおける挙動を実験により検討している．これまでにステージの変位・速度のフィードバックとPID動作により微小ステップ位置決めを実現してきた．新たに超高分解能ロータリエンコーダをねじ軸上に設置し，回転角度と角速度を含めた状態フィードバック系を構成し，位置決め性能の向上を検討している．

責任著者(Corresponding author)

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