機台に設置されたステージの高速・高精度制御のための簡単制御系設計

抄録

ステージの高速化が進むとともに，機台を含めた振動が位置決め性能を劣化する要因となる．本稿では，正確な力学モデルなしで，機台に設置された精密ステージの高速で超精密な位置制御系を設計する方法について述べている．基本となる制御方法として，NCTF制御法を用い，振動特性に合わせて簡易な補償器を追加することで，高精度な位置制御を実現している．