高感度光学式角度センサの限界測定分解能に関する理論的検討

抄録

レーザオートコリメーション法をベースとする光学式角度センサでは，シングルセルのフォトダイオード適用により角度検出の感度を向上できる．一方で，実現可能な分解能は，角度検出感度およびセンサ出力に含まれるノイズ成分によって左右される．本報では，光学式角度センサの電圧出力に含まれるノイズ成分についての理論的検討を試み，実現可能な限界測定分解能を見積もった結果について報告する．