精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会秋季大会
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空気揺らぎによるレーザビーム強度重心変動の周波数特性
*竹岡 響高野 悟堀江 光司山田 洋平安原 寿規明田川 正人
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p. 213-214

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抄録

レーザを用いて真直度を測定する真直度測定機は、空気屈折率の時間的・空間的な変動(空気揺らぎ)による波面収差の影響を受けて、不確かさが増大する。そこで、深層学習を用いて空気揺らぎによる影響を推定し、測定値から差し引くことで、数値的に補償する方法を検討している。本研究では、この深層学習の学習データ取得の参考として、空気揺らぎによるビーム強度重心位置の時間変化を測定し、その周波数特性を調査した。

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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