主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
p. 213-214
レーザを用いて真直度を測定する真直度測定機は、空気屈折率の時間的・空間的な変動(空気揺らぎ)による波面収差の影響を受けて、不確かさが増大する。そこで、深層学習を用いて空気揺らぎによる影響を推定し、測定値から差し引くことで、数値的に補償する方法を検討している。本研究では、この深層学習の学習データ取得の参考として、空気揺らぎによるビーム強度重心位置の時間変化を測定し、その周波数特性を調査した。