第一原理電子構造計算によるRamanスペクトルシミュレーションを用いた結晶格子損傷状態の解析法の検討

抄録

我々が開発中の顕微Raman断層イメージングによる加工面損傷の計測技術における、断層像を損傷状態として解釈を行うための解析法として、第一原理電子構造計算によるRamanスペクトルシミュレーションの方法の検討を行った。サファイアを例として、結晶格子にひずみを与えた場合のRamanスペクトルのシミュレーションを行い、各Ramanピークに対応した格子振動運動の振る舞い方や、ひずみに対するピーク特徴量の応答特性を解析した。