回折現象を利用した金属三次元ナノ周期構造の作製（第2報）

金属含有率の向上

抄録

本研究では，周期的な光強度分布を発生させる回折現象に着目し，この光強度分布と金属含有レジストを利用した金属三次元ナノ周期構造の作製法を提案している．しかし，前報では，構造に含まれる金属の体積含有率が低いという問題があった．そこで，本報告では，金属含有レジストに含まれる感光材および溶媒の比率と，プリベークの加熱条件を最適化することで，金属の含有率を向上させることを検討した．