浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第6報）

小ステップ変位微動特性

抄録

摺動摩擦のないスクイーズ効果支持微動テーブルを提案している．加振面と被加振面の平行度調整が可能であることを特徴とする．前報では支持部底面角度が異なる3種類のテーブルに対して長ストローク微動特性を示した．今回，ステップ電圧を長ストロークの1/10に設定した小ステップ変位での応答を観察した．また，膜厚変化から幾何学的に推定した見積変位と実際の変位を比較評価した．