圧電素子を用いた浮上機構の電気信号

抄録

本研究では積層型圧電素子を用いて浮上するアクチュエータの実用化を目指す。これまで、レーザ変位計を用いて浮上量を測定してきた。レーザ変位計による測定では浮上機構の水平方向に移動時の浮上量を測定できないという問題点がある。そこで浮上特性を明らかにし、レーザ変位計を使用しない方法での浮上量測定を目指す。浮上時のアドミッタンスを測定した結果、浮上機構の浮上は共振周波数と反共振周波数の間に最大となる点があることを明らかにした。