非接触光干渉式内周面測定機の開発

山﨑 大志; 淺田 隆文

doi:10.11522/pscjspe.2022A.0_328

2022年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022A.0_328

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09

非接触光干渉式内周面測定機の開発

*山﨑大志, 淺田隆文

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キーワード: 非接触, 内径, 幾何公差, 真円度, 円筒度

会議録・要旨集フリー

p. 328-329

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抄録

産業機器の軸受、内燃機関、小径精密部品等において複雑で高精度な加工が行われているが、これを非破壊・非接触且つ高精度・高速に測定する測定機は現存しないに等しい．φ1.1～の小径穴においても高精度測定が可能な非接触光干渉式内周面測定機を開発し、測定再現性、直線性を評価したので測定事例を交えながら報告する．

責任著者(Corresponding author)

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