レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発 光学系に起因する誤差を配慮した曲がり検出法

2022年度精密工学会秋季大会

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09

レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発

光学系に起因する誤差を配慮した曲がり検出法

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キーワード: 深穴, 精度, 測定, レーザ, 誘導

会議録・要旨集フリー

p. 330-331

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抄録

直径17～21，L/D比500の深穴の形状精度を，測機のレーザ光のみで穴の曲がりおよび真円度が測定できる高機能測定システムを製作し，測定精度を調べてきた．これにより、真円度測定誤差が生じる原因が明らかになった．本研究では，光学系に起因する穴の曲がり検出誤差に関して吟味する．