切削工具刃具へのLD処理の効果

抄録

我々はCMP固定砥石により超硬工具刃先の鋭利化を実現した。また、切削加工時の刃具とワークとの化学反応を抑えるため、超硬工具の刃具刃先にLaser doping（LD）を行い、サブμmオーダーの微細構造加工を実現した。刃具刃先のLD処理の効果を調べるため、超硬工具の刃具刃先の結晶構造解析を行った。電子線後方散乱回折（EBSD）とX線回析（XRD）により、表面構造が変化していることを観測した。