異なるパルス幅の超短パルスレーザによるナノ周期構造創成メカニズムの検討

抄録

超短パルスレーザを加工閾値近傍のエネルギーで材料表面に照射すると自己組織的にナノ周期構造が創成される．ナノ周期構造の創成において，パルス幅が重要なパラメータとなるが，パルス幅と創成されるナノ周期構造の関係および創成プロセスは明らかになっていない．そこで本研究では，ナノ周期構造の創成に対するパルス幅の影響を検討し，パルス幅により創成メカニズムが異なることを明らかにした．