環状走査式距離測定を用いた超精密方位角検出に関する研究

検出原理と原理検証

抄録

各種機械部品において複雑自由曲面化，高精度化，高品位化など，機能，価値向上が求められている．本研究は加工機のテーブルの姿勢について，レーザ距離計を環状に走査することで高精度に計測することを目的としている．本報では，方位角検出手法の原理と，基礎的な検証結果について報告する．