狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータのワイヤ電極を用いた大気圧プラズマによる無歪みエッチング

抄録

硬X線領域で利用される光学素子である結晶モノクロメータは、その反射面となる格子面に結晶完全性が求められる。しかし、難加工形状を有するものは既存の高精度研磨技術では、格子歪のない表面を創成することは困難である。我々はこれまで、大気圧プラズマを応用した結晶モノクロメータの無歪み仕上げ加工法を開発してきた。本発表では、電極に極細ワイヤを利用した結晶の狭小領域の加工を検討した結果について報告する。