ニオブ酸リチウム単結晶を用いたX線用形状可変ミラーの開発 第2報：アダプティブAdvanced KBミラー光学系の構築

中林 荘太; 井上 陽登; 上松 航太; 香村 芳樹; 矢橋 牧名; 松山 智至

doi:10.11522/pscjspe.2022A.0_72

2022年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022A.0_72

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09

ニオブ酸リチウム単結晶を用いたX線用形状可変ミラーの開発

第2報：アダプティブAdvanced KBミラー光学系の構築

*中林荘太, 井上陽登, 上松航太, 香村芳樹, 矢橋牧名, 松山智至

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キーワード: X線顕微鏡, 形状可変ミラー, ニオブ酸リチウム

会議録・要旨集フリー

p. 72

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抄録

空間分解能5nmを持つX線顕微鏡の達成には，1nm以上の形状精度を有するX線ミラーが必要である．そこで我々はニオブ酸リチウムを用いた形状可変ミラーを開発した．単結晶圧電体であるため，逆圧電効果により高精度に変形できるだけでなく，高い安定性とヒステリシスフリーを実現できる．本発表では楕円凹面の形状可変ミラーを組み込んだアダプティブAdvanced KBミラー光学系を構築し，SPring-8にてX線波面補償を行った結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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