主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
東京大 工学系研究科 精密工学専攻
理化学研 放射光科学研究センター XFEL研究開発部門
p. 79-80
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加工プロセスの高速撮像は加工学理解明や工具挙動の解析に有用である。しかし、一般的な可視光による観察では物質内部を観察できない。一方、X線を用いれば内部を透過観察可能であるが、1ms以上の時間分解能を実現するためには強力なX線が必要となる。そこで、本研究では、細穴放電加工に対して放射光施設SPring-8における100keVのX線により高速撮像を行った結果について報告する。
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