単結晶圧電素子を用いた形状可変ミラーの開発

抄録

高分解能な結像型X線顕微鏡を実現するためには、より高精度な光学素子が必要となる。しかし、光学素子の作製精度は限界に達しており、この問題解決のため形状可変ミラーの導入を進めている。これまでの形状可変ミラーは、高空間周波数の形状が制御不能、圧電素子由来の不安定性などの欠点を有する。そこで、本研究では単結晶圧電素子を用いた新構造の形状可変ミラーを提案、試作し、性能評価を実施した。