中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製 （第13報） PCVM加工後の表面粗さ悪化要因の究明とその対策

須場 健太; 山本 有悟; 丸山 龍治; 曽山 和彦; 林田 洋寿; 川合 健太郎; 有馬 健太; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_117

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_117

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第13報）

PCVM加工後の表面粗さ悪化要因の究明とその対策

*須場健太, 山本有悟, 丸山龍治, 曽山和彦, 林田洋寿, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

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キーワード: 中性子顕微鏡, プラズマCVM, 大気圧プラズマ, Wolter I型ミラー

会議録・要旨集フリー

p. 117-118

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抄録

中性子顕微鏡の実現にあたり, その強度不足を補填する高効率で中性子線を結像可能なミラーデバイスの開発が求められる. 大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いたPCVM (Plasma Vaporization Machining) は, サブミクロンオーダの形状精度が要求される合成石英製WolterⅠ型ミラーマンドレル加工への応用が期待される. 本報では, PCVM加工後に見られる表面粗さの悪化要因の究明とその対策に関して報告する．

責任著者(Corresponding author)

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