プラズマ援用研磨法の開発（第24報） CF<sub>4</sub>プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化

孫 栄硯; 陶 通; 川合 健太郎; 有馬 健太; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_128

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_128

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

プラズマ援用研磨法の開発（第24報）

CF₄プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化

*孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

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キーワード: プラズマ援用研磨, CF4プラズマ, フォースカーブ, 吸着力

会議録・要旨集フリー

p. 128

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抄録

焼結体であるAlNセラミックス材の仕上げプロセスでは，脱粒を防ぐために極低研磨圧力が不可欠である．当該グループではプラズマ援用研磨を適用することで，従来の機械研磨プロセスでは研磨できない極低研磨圧力条件下でも研磨が進行し，脱粒フリーな高品位焼結AlN表面を得た．本報では、プラズマ援用研磨法における研磨メカニズムを解明するため，CF₄プラズマ照射前後の焼結AlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化をフォースカーブで評価した．

責任著者(Corresponding author)

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