2022年度精密工学会春季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
難加工材料に対するスラリーレス超音波援用電気化学機械研磨法の開発（第3報）
4インチSiCウエハ研磨の検討
キーワード:
超音波援用電気化学機械研磨,
SiCウエハ
p. 127
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
p. 127
SiCウエハの研磨において固定砥粒を用いたスラリーレス電気化学機械研磨（ECMP）は、高能率かつ低コストな研磨が可能な有望技術である.当該研究グループでは，スラリーレスECMPの研磨レートをさらに向上させるために、超音波振動を援用したスラリーレス電気化学機械研磨(UAECMP)を新たに提案している. 本報では，スラリーレスUAECMPを4-インチSiC基板に適用し，その研磨特性を報告する．
