プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工（第3報）

研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性に関する検討

抄録

近年，ダイヤモンド基板の研磨において機械研磨法の代替手法の開発が進んでおり，我々はプラズマを援用した研磨法を開発している．これまでに，プラズマの照射は基板の研磨レートを向上させ，表面粗さを減少させる効果があることが確認されている．本稿では，加工パラメータとして研磨圧力に着目し，異なる研磨圧力でプラズマ援用研磨を行った際の，研磨レートおよび表面粗さを評価し，圧力依存性について報告する．