３Ｄチャートによる高速高精度アライメント技術の開発

根岸 真人; 松永 大輔; 千葉 清隆; 小川 英人

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_174

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_174

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

３Ｄチャートによる高速高精度アライメント技術の開発

*根岸真人, 松永大輔, 千葉清隆, 小川英人

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キーワード: アライメント, 6自由度, 三次元チャート, 画像解析, 空間周波数応答, 精密ステージ

会議録・要旨集フリー

p. 174-175

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抄録

高性能カメラの製造にはレンズとセンサの精密な６自由度アライメントが欠かせない．従来の２Ｄチャート法は焦点を変えた複数の撮像が必要なので時間と精度が問題だった．本報では３Ｄチャートと呼ぶ立体物の画像から６自由度の誤差を計算する．画像が１枚なので高速、動作部が無いので高精度である．さらにルーフ型３ＤチャートはＳＦＲ（空間周波数応答）を１００か所以上で同時測定可能，従来法に対し約３倍高速かつ高精度な実験結果を得た．

責任著者(Corresponding author)

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