タルボ効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第7報）

多重露光を用いた加工自由度の向上

抄録

ナノ周期構造は周期や形状の変化によって高機能化することが知られている．そこで，大面積のナノ周期構造を作製することが可能な，タルボリソグラフィの加工自由度の向上が必要とされている．本研究では，ナノ周期構造の作製手法として多重露光を用いたタルボリソグラフィを提案している．本報告では，多重露光により様々な形状を有する構造作製が可能になり，タルボリソグラフィの加工自由度が向上することを示した．