共焦点光学系による自家蛍光検出を用いた幾何形状計測（第1報）

斜面計測における共焦点信号

抄録

工業製品に含まれる部品の小型化に伴い，複雑な形状に対応できる高精度な計測技術の需要が高まっている．本研究では，正反射光を検出しにくく従来の光学3次元測定機では計測が難しい，大きな傾斜をもつ物体の3次元計測を目指している．広い角度に放出される自家蛍光を共焦点光学系により局所的に検出することで傾斜部を3次元的に計測する手法を考えており，今回はその前段階として共焦点光学系の特性・性能について評価する．