精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
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ナノ粒子チップを用いた多分散粒子の粒度分布計測に関する研究(第三報)
AFMを用いた高さ相当径の評価
*朱 家慶林 照剛黒河 周平
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p. 264-265

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抄録

液中に分散するナノ粒子の粒度分布測定に対して,画像解析法では,粒子を液中から基板に固定する必要がある.従来,一般的なサンプル作成手法では,基板上に粒子の凝集が発生するため,基板上の粒子の粒度分布計測による液中の粒度分布を評価することが困難である.この問題を解決するため,筆者らはナノ粒子チップを用いた粒度分布測定技術を提案した.提案手法では,液中に分散する一次粒子・二次粒子を個別に基板上に固定することにより,粒子の分散状態を保ったまま,ナノ粒子の粒径を計測できる.本報告では,AFMを測定器として選択し,ナノ粒子チップを用いた高さ相当径の評価と一般的な液滴滴下方法と比較した.

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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