ディープラーニングを用いたレーザビーム真直度測定機の空気揺らぎ補正

抄録

精密分野では，レーザビームの直進性を利用し，これを直線基準とする真直度測定システムが用いられている．しかし，レーザ光を空気中で用いる場合，測定は空気揺らぎの影響を受ける．空気揺らぎはレーザビームの波面に収差を発生させ，ビームプロファイル変化を引き起こすため，結果としてレーザビームの直進性を損わせ，真直度測定結果に空気揺らぎによる誤差を含んでしまう．そこで本研究では，レーザビームプロファイル変化から空気揺らぎのみによる真直度測定誤差をディープラーニングで予測し，補正する方法を開発する．