精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
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ピストン・シリンダの円筒形状計測による圧力標準の高度化への取り組み(第1報)
真円度・真直度測定および直径測定の試み
*武井 良憲近藤 余範梶川 宏明渡部 司
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p. 298-299

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抄録

重錘形圧力天びんは、ピストン・シリンダの有効断面積と重錘の質量から、一定の圧力を発生させられる。発生圧力の不確かさ低減のために、直径35.3 mm 長さ60 mm と40 mm のピストン・シリンダの各位置の直径をまずは180 nm 、将来は50 nm の標準不確かさで計測することが本研究の目標である。真円度測定機を用いて、多段面の真円度曲線と複数ラインの真直度曲線を測定した。また、基準球とレーザ測長器を導入し、直径計測を試みた。

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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