半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測（第3報） 縦モード番号の高精度推定

合田 周平; 増井 周造; 門屋 祥太郎; 道畑 正岐; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_317

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_317

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測（第3報）

縦モード番号の高精度推定

*合田周平, 増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

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キーワード: 外部共振器, 半導体レーザ, 長さ計測, 二重周期回折格子

会議録・要旨集フリー

p. 317-318

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抄録

近年，半導体集積回路，ナノデバイスの発展や原子オーダでの加工技術の発達により高分解能の長さ計測技術の要求が高まっている．本研究では Q 値がかなり高く高分解能な計測が期待できる共振現象に着目し半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測技術の開発と検証を目指す．本報では二重周期回折格子を用いて,この計測手法の測定精度に大きく関わるモード番号の推定精度を改善し実験検証により高精度縦モード番号推定を実現した．

責任著者(Corresponding author)

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