主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
p. 317-318
近年,半導体集積回路,ナノデバイスの発展や原子オーダでの加工技術の発達により高分解能の長さ計測技術の要求が高まっている.本研究では Q 値がかなり高く高分解能な計測が期待できる共振現象に着目し半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測技術の開発と検証を目指す.本報では二重周期回折格子を用いて,この計測手法の測定精度に大きく関わるモード番号の推定精度を改善し実験検証により高精度縦モード番号推定を実現した.