主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
p. 315-316
位相シフト干渉計では,光路長変化のために機械駆動が用いられている.駆動精度は可視光波長の1%程度であり,計測へ用いる際に高精度化の障害となる.そこで,偏光量子もつれ光子対を用いた位相シフト方法を提案する.偏光量子もつれ光子対の一方を干渉計に,もう一方を偏光変調光学系に入射すると,偏光変調によって参照光の位相をシフトできる.本報では,偏光変調で得られた干渉縞の評価を行なった.