ダイヤモンド電着ワイヤ工具による硬脆材料の溝加工

抄録

半導体や光学部品に用いられる硬脆材料の精密加工には，加工効率に優れるダイヤモンド電着ワイヤ工具が多用されてきている．本報では，硬脆材料の溝加工における溝深さ・溝幅・ワイヤ工具摩耗におよぼす加工条件の影響について検討した結果を報告する．溝加工実験およびワイヤ工具観察の結果，加工荷重が大きいほど加工効率は向上するが，工具摩耗の進行も早くなることがわかった．また，溝幅も狭くなる傾向にあることがわかった．