積層型圧電素子を利用した超高応答ステアリングミラーの開発

2022年度精密工学会春季大会

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

積層型圧電素子を利用した超高応答ステアリングミラーの開発

著者情報

会議録・要旨集フリー

p. 369-370

詳細

抄録

平面ミラーのチップ・チルト駆動を積層型圧電素子で実現する超高応答ステアリングミラーの開発を進めている．直径50mmのステアリングミラーに対して，10kHzの制御帯域の実現を目指し，機構設計，圧電素子の液冷手法，圧電素子のヒステリシス補償方法を開発したので，紹介する．