精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
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光集積回路への低損失光実装技術の開発
*白石 竜朗鎌谷 淳一古田 寛和中村 和樹
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キーワード: 光実装, 光集積回路
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p. 371-372

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抄録

光集積回路を用いたデバイスの実現には、光集積回路内にレーザ光を高効率に結合させ、接着剤等で固定する光実装技術が求められる。特に、接着剤の硬化収縮に伴う光軸ずれは、大きな損失を招くにも関わらず、対策の検討が不十分である。そこで我々は、アクティブアライメントを応用し、接着剤硬化中の位置ずれを解消できる光実装工法を開発した。接着剤硬化中の位置補正動作により、光損失0.45dB以下の光実装を実証した。

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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