主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
p. 371-372
光集積回路を用いたデバイスの実現には、光集積回路内にレーザ光を高効率に結合させ、接着剤等で固定する光実装技術が求められる。特に、接着剤の硬化収縮に伴う光軸ずれは、大きな損失を招くにも関わらず、対策の検討が不十分である。そこで我々は、アクティブアライメントを応用し、接着剤硬化中の位置ずれを解消できる光実装工法を開発した。接着剤硬化中の位置補正動作により、光損失0.45dB以下の光実装を実証した。