ファインバブルクーラントを用いた平面研削の反り抑制の研究

抄録

クーラントにファインバブルを生成する技術が注目されているが，反り抑制に用いた例はほとんど報告されていない．また，微細孔を原理とするファインバブル生成法において，その気孔径とファインバブルの密度を調査した報告もほとんど無い．本研究グループでは，超微細孔方式のファインバブル生成器を新たに開発し，ファインバブルの密度を計測し，液特性を評価し，これをS45Cの平面研削に適用して研削抵抗と反りの影響を調査した．