透過型顕微鏡での観察可能な透明樹脂製マイクロスケール構造体の製作

抄録

シリコンエッチング等で製作する櫛歯型MEMSデバイス等では精密な計測が可能である．しかし材料の性質上一般的な透過型顕微鏡での観察は困難である．本研究では，ガラス基板上に透明性の高いエポキシ樹脂製の櫛歯型構造を製作を可能にした．製作方法は一般的なフォトリリソグラフィで可能であり，浮遊構造等の製作が実現できた．透明度の高い性質を活かし生体材料の直接観察も可能である．