ガラス棒円筒面より漏洩する光を援用したエッチングによる輪郭形状の転写に関する研究

抄録

光アシストエッチングは，化学反応性の雰囲気中に設置した半導体表面へ光を照射し，照射部の溶解を誘起させる加工手法である．本研究では，光を伝搬させたガラス棒の円筒面をGaAsウエハと接触させ，漏洩する光により近傍をエッチングすることで，輪郭形状の転写を試みた．直径が異なるガラス棒を用いると，それぞれの輪郭を反映した加工痕が得られた．これにより，本手法は様々な断面形状の溝形成が可能であると示唆された．