廃シリコン粉末へのレーザ照射によるSi/C複合ナノ粒子生成

抄録

カーボンニュートラルへの注目からリチウムイオン電池の需要が高まっており，シリコン/カーボン(Si/C)複合ナノ粒子は高性能負極材料として期待される．本研究ではSiウエハ製造過程で生じる廃Si粉末と黒鉛の混合ターゲットにミリ秒レーザを照射し，複合ナノ粒子を生成した．高速度カメラによるプルーム観察からSiとCは異なるプルーム形状を持つことが明らかになった．堆積物の電子線回折から3C-SiC@Cコアシェルナノ粒子の生成が確認された．