精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
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ニオブ酸リチウム単結晶を用いたX線用形状可変ミラーの開発
*中林 荘太松山 智至上松 航太
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p. 661

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抄録

X線領域では、高精度な光学素子が必要とされる。しかし、その作成難易度は限界(1nm)に到達しつつあり、これら光学素子によって乱された波面を形状可変ミラーによって修正する戦略が今後重要となる。本研究では、単結晶圧電素子であるニオブ酸リチウムを用いた極シンプルな形状可変ミラーを試作した。SPring-8にてX線波面計測を試みたところ、試作した形状可変ミラーが意図したとおり変形できることを確認した。

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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