精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
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積層型圧電アクチュエータのヒステリシスを考慮した等価回路モデル(第2報)
ヒステリシスループを利用したパラメータ同定
*古谷 克司
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p. 659-660

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抄録

圧電アクチュエータは印加電圧を変化して変位を制御することが多いが,これらの間にはヒステリシスが存在する.本報では,圧電アクチュエータのモデルの一つであるMartinのモデルで,機械側のコンプライアンスをCauer回路で表現した.各静電容量が双曲線正接関数に基づいて変化とし,それらのパラメータを変位と印加電圧都のヒステリシスループから推定した.充電される電荷と変位との関係を含め概ね一致した.

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