流体慣性を応用した空気圧マイクロポンプに関する研究

抄録

空気圧駆動ソフトマイクロロボットのマイクロ空気圧源のため，流体慣性を応用した空気圧マイクロポンプを提案，検討する．高出力が確認されている液圧用流体慣性マイクロポンプの動作原理を空気圧マイクロポンプに応用し，その特性をシミュレーションにより詳細に検討する．さらに，チェックバルブなどの主要構成部品のMEMS技術による製作を試み，その特性を実験的に検討する．